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淺談電子廠無(wú)塵凈化車(chē)間的特點(diǎn)及參數(shù)
發(fā)布者：翼展凈化工程公司瀏覽次數(shù)：發(fā)布時(shí)間：2022-07-29
電子廠凈化車(chē)間的特點(diǎn)：

　　電子廠凈化車(chē)間等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控，另外電子廠凈化車(chē)間對(duì)靜電要求相當(dāng)嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)容易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來(lái)說(shuō)，電子廠凈化車(chē)間的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對(duì)濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車(chē)間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。 這時(shí)可有效地消除靜電，并使人也感覺(jué)舒適。芯片生產(chǎn)車(chē)間、集成電路無(wú)塵室和磁盤(pán)制造車(chē)間是屬于電子廠凈化車(chē)間的重要組成部分，由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格，主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象，同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。
       我們舉例拿杭州兆奕科技電子廠無(wú)塵車(chē)間為例：就要求做到十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間恒溫恒濕的特殊要求，既可以保障產(chǎn)品質(zhì)量又可以防止靜電，還可以讓人員有個(gè)較好的環(huán)境下作業(yè)，如圖所示：

                                                                                                              電子廠無(wú)塵車(chē)間  I  EPURZAN翼展
電子廠無(wú)塵車(chē)間參數(shù)：

　　1、萬(wàn)級(jí)電子廠無(wú)塵車(chē)間內(nèi)的噪聲級(jí)(空態(tài))：不應(yīng)大于65dB(A)。

　　2、電子廠無(wú)塵車(chē)間垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了。

　　3、電子廠無(wú)塵車(chē)間與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。

　　4、電子廠無(wú)塵車(chē)間內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的較大值：

　　(1)補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。

　　(2)保證供給電子廠凈化車(chē)間內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。

　　(3)電子廠凈化車(chē)間凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器，應(yīng)設(shè)置新風(fēng)，超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)，若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無(wú)水保護(hù)，寒冷地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。無(wú)塵室的送風(fēng)量，應(yīng)取下面三項(xiàng)較大值：保證凈化車(chē)間空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量;根據(jù)熱，濕負(fù)荷計(jì)算確定電子廠潔凈室的送風(fēng)量;向電子制造廠潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量。

       5、電子廠無(wú)塵車(chē)間對(duì)溫度、濕度無(wú)特殊要求時(shí)，以穿著潔凈服不產(chǎn)生舒適感為宜，溫度一般控制在秋冬季20~22℃；春夏季24~26℃；波動(dòng)±2℃。秋冬季潔凈車(chē)間空氣濕度控制在30-50%，春夏季潔凈車(chē)間空氣濕度控制在50-70%。

       6、配電：潔凈室（區(qū)）的主要生產(chǎn)用地一般照度值宜≥300Lx；輔助工作室、人員潔凈和物料潔凈用室、氣閘室、過(guò)道等的照度值宜為200~300Lx。

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